应用领域
半导体单晶硅片—生产废水处理
项目背景
客户属于半导体材料大型生产企业，产品包含区溶硅单晶、直拉硅单晶、多晶硅、太阳能单晶硅棒、硅片等。本项目主为解决要生产硅片清洗水达标排放问题。此次为扩建技改项目，为改进技术，采用先进工艺技术和设备，从源头削减污染，提高资源利用率，减少污染物排放，以达到清洁生产的目的
企业面临的挑战
企业内建有废水站，传统处理方式，对化学镍废液处理效果不理想，酸碱废水中含有COD，BOD，氨氮，石油类，总磷等物质，废水处理后需达到三级排放标准，企业危废处置成本增加。
待处理水量及委外成本
废水：硅片产线清洗废水
废水水量约：2T/D
委外处理成本：约3500元/吨。
年处理费用约：210万
优势：
● 占地面积小，易清洁维护
● 自动化程度高，减少人工操作
● 蒸馏水出水质量稳定，节省水资源
● 废水处理的工序安全和运行安全
● 减少能源和运营成本
● 废弃处理量减少至最小倍数
1.收集废液浓缩液收集进入至废水存储池内，中和废液，调节PH值后
2.中和后废液经过滤器，去除固体颗粒物及杂质
3.过滤后废液进入EVLO-100+EVLS-25 进行蒸发浓缩结晶处理
4.蒸馏水排至厂区废水站。
5.蒸发后浓缩结晶泥收集至污泥车，减少危废体积，委外处理。
废水水质处理前后数据
废水蒸发浓缩 & 浓缩液减量
解决方案：
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项目实施效果：
项目安装运行 & 经济效益分析
1.蒸发设备处理浓废水量约1.5-2吨/天（一天20小时运行状态）。
2.设备调试后稳定运行1年，
3.废水蒸发浓缩比约提高为85%
4.设备仅1名操作点检维护人员
5.年节约废水委外费用约160万
6.蒸馏水出水稳定合格，排入废水站
7.污水在减排零排方面做到了达标
